Μάθημα : Διεργασίες Παραγωγής Ηλεκτρονικών Υλικών (Ανοικτό Μάθημα)
Κωδικός : CMNG2179
CMNG2179 - Δημήτριος Ματαράς
Ενότητες μαθήματος
-
Εμφάνιση όλων των ενοτήτων
Χημικές Διεργασίες
Χημικές Διεργασίες εναπόθεσης υμενίων. Χημική εναπόθεση ατμών (CVD). Επιφανειακή Διάχυση και Επιταξία. Ομογενείς και ετερογενείς αντιδράσεις και κινητική της εναπόθεσης. Αντιδραστήρες CVD. Καθεστώτα ροής και μεταφορά θερμότητας, σχεδιασμός αντιδραστήρων.
Έγγραφα
Χημικές Διεργασίες