Μάθημα : Διεργασίες Παραγωγής Ηλεκτρονικών Υλικών (Ανοικτό Μάθημα)
Κωδικός : CMNG2179
Χημικές Διεργασίες
Χημικές Διεργασίες εναπόθεσης υμενίων. Χημική εναπόθεση ατμών (CVD). Επιφανειακή Διάχυση και Επιταξία. Ομογενείς και ετερογενείς αντιδράσεις και κινητική της εναπόθεσης. Αντιδραστήρες CVD. Καθεστώτα ροής και μεταφορά θερμότητας, σχεδιασμός αντιδραστήρων.
Έγγραφα
Χημικές Διεργασίες