Παρουσίαση/Προβολή

(MSCI617) -  Δημήτριος Αλεξανδρόπουλος

Περιγραφή Μαθήματος

Υλικά και Διατάξεις μικροηλεκτρονικής. Αρχές και λειτουργικότητα μίκρο-και νάνο-διατάξεων. Τεχνολογία CMOS. Μικρομηχανική Τεχνολογία. Φωτονικά Ολοκληρωμένα Κυκλώματα. Μέθοδοι χαρακτηρισμού. Διαδικασίες ανάπτυξης υλικών. Επιταξιακές μέθοδοι. Διαδικασίες ανάπτυξης διατάξεων. Επεξεργασία υλικών σε περιβάλλον στείρου χώρου. Φωτολιθογραφία, λιθογραφία laser, soft-lithography, nano-imprint, e-beam λιθογραφία. Χημική Εγχάραξη. Εγχάραξη με τεχνικές αντιδραστικού πλάσματος (RIE). Ιοντική Διάχυση. Ιοντική Εμφύτευση.Οξείδωση. Επιμετάλλωση. Παραδείγματα και Εφαρμογές μικρο και νανοδιατάξεων. Εφαρμογές.

Προαπαιτούμενα μαθήματα: Επιστήμη των Υλικών Ι & II, Φυσική ΙV

Ημερομηνία δημιουργίας

Παρασκευή, 12 Φεβρουαρίου 2016