Vista previa

(CMNG2179) -  Δημήτριος Ματαράς

Descripción del Curso

Το μάθημα με κωδικό ΧΜΕ33 (ECTS:4) διδάσκεται το χειμερινό (9ο) εξάμηνο ως μάθημα επιλογής στους τελειόφοιτους Χημικούς Μηχανικούς. Αποτελεί μια εισαγωγή στη νανοτεχνολογία μέσω του παραδείγματος των διεργασιών που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων πυριτίου από τη σκοπιά του Χημικού Μηχανικού. Οι στοιχειώδεις διεργασίες που εξετάζονται μπορούν να βρουν εφαρμογές και σε άλλα πολύ διαφορετικά υλικά και συσκευές της σύγρονης τεχνολογίας.

Λέξεις Κλειδιά: Microelectronics Processing, Czochralski, CVD, PVD, PECVD, Plasma etching

Creation Date

martes, 21 de julio de 2015