Διεργασίες Παραγωγής Υλικών (Ανοικτό Μάθημα)
Δημήτριος Ματαράς
![CC - Αναφορά Δημιουργού CC - Αναφορά Δημιουργού](/template/default/img/cc/by.png)
Χημικές Διεργασίες εναπόθεσης υμενίων. Χημική εναπόθεση ατμών (CVD). Επιφανειακή Διάχυση και Επιταξία. Ομογενείς και ετερογενείς αντιδράσεις και κινητική της εναπόθεσης. Αντιδραστήρες CVD. Καθεστώτα ροής και μεταφορά θερμότητας, σχεδιασμός αντιδραστήρων.
Φυσικές και Φυσικοχημικές Διεργασίες. Εξάχνωση (PVD) και Επιταξία Μοριακής Δέσμης (MBE). Διεργασίες Πλάσματος. Sputtering (dc και rf), υπολογισμοί ρυθμών sputtering και ρυθμού εναπόθεσης. Χημική εναπόθεση ατμών ενισχυμένη με πλάσμα (PECVD). Δημιουργία δομών με εγχάραξη πλάσματος (Plasma Etching). Αντιδραστήρες PVD. Αντιδραστήρες Πλάσματος: Ιδιαιτερότητες, ηλεκτρικά χαρακτηριστικά και σχεδιασμός.
Οδηγίες δημιουργίας δημιουργίας της πρώτης παρουσίασης.
Οδηγίες δημιουργίας δημιουργίας της δεύτερης παρουσίασης.
Ανοικτό Ακαδ. Μάθημα
![Ανοικτά Ακαδημαϊκά Μαθήματα Ανοικτά Ακαδημαϊκά Μαθήματα](/template/default/img/open_courses_logo_small.png)
Αρ. Επισκέψεων : 0
Αρ. Προβολών : 0